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        適用于 Ni、Cr、W、Ti、Al 等各種金屬的高規(guī)格緊湊型鍍膜機(jī)

        發(fā)布時(shí)間:2021-09-30 點(diǎn)擊量:1618

        適用于 Ni、Cr、W、Ti、Al 等各種金屬的高規(guī)格緊湊型鍍膜機(jī)

        特征

        • 直流濺射類系列中最小的超緊湊型號(hào)

        • 配備皮拉尼真空計(jì),確保成膜條件的再現(xiàn)性

        • 標(biāo)配手動(dòng)快門

        • TS 之間的距離可以通過(guò)專用的樣品臺(tái)和載物臺(tái)輕松改變。

        • 由于它可以鍍上鎢,因此它也可以用于制備高分辨率 SEM 的樣品。



        應(yīng)用/結(jié)果示例

        • 適用于各種設(shè)備的電極膜附件

        • 用于制造反射薄膜等

        桌面快速涂布機(jī)SC-701MkⅡ ADVANCE



        基本規(guī)格

        陰極φ2寸直流磁控管/平板型電極
        適用對(duì)象Au / Pt / Au-Pd / Pt-Pd / Ag / Pd / W / Ni / Mo / Cr / Ti / Al
        壓力測(cè)量皮拉尼真空計(jì)
        壓力控制針閥手動(dòng)控制
        引入直徑 外徑 φ6mm 一鍵式接頭
        工藝氣體氬氣
        真空泵直聯(lián)回轉(zhuǎn)泵:20L/min(帶自動(dòng)漏液)
        腔室尺寸內(nèi)徑φ90×D90mm(SUS制)
        樣品交換方式前門開(kāi)閉式
        尺寸(寬/深/高)機(jī)身:160/450 / 290mm RP:295.5 / 156 / 199.5mm
        重量身體:9 公斤 反相:9 公斤